创业者说
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项目需求
国产设备在推广时经常会遇到一些困难，我们希望未来大家可以慢慢扭转观念，国产设备在功能和指标上与国外设备可以达到同等水平，甚至超越国外设备。在能够满足科研生产需求的情况下，希望广大科研工作者和产业客户多多支持国产设备，为其应用推广提供机会，这对我国的高端仪器产业发展非常重要。
继承北航70年发展历程中磨练出的优秀品质，致力于实现高端科学仪器和集成电路测试设备的自主可控和国产替代。今天我们采访了第七届中国国际互联网+大学生创新创业大赛金奖项目致真精密仪器项目负责人张学莹博士，听他讲述高端仪器设备检测的故事。
致真精密仪器（青岛）有限公司是以集成电路产线测试设备、高端科学仪器研发和生产为主要业务的国家高新技术企业。在中国集成电路制造行业迅速发展、芯片研发和制造环节各类设备亟需自主可控的背景下，致真精密仪器通过自主创新、产学研合作及成果转化、行业资源整合等手段对国内尚未实现自主研发的相关高端仪器设备展开工程攻关。致真精密仪器研制的首台工业级晶圆磁光克尔测量仪打破了国外企业在该领域的垄断，填补了国内空白，标志着磁性芯片及传感器量产所需的光学检测设备从此实现自主可控。
尊重科学尊重人才
产学研融合搭起芯鹊桥
高端仪器设备既是科学发展的产物，又是科学研究和研发的基础工具，致真精密仪器的服务对象为科研工作者和高科技企业，产品的研发亦需要科学知识和方法作为支撑。
提到项目优势，张学莹博士介绍到：我们的设备，相比于国外的设备，具有很多优势。第一，国外的设备常对我国关键行业施行禁运或限制，他们会把具有高端性能的设备进行功能阉割，而我们的设备是自主可控的，是全部向客户开放的。第二，我们的核心团队就在国内，在北京、青岛、杭州等城市都有技术支持中心，在售后、培训等方面我们会做的更好、更及时。
我们做高端仪器研发，就必须要和最顶尖的科学家一起工作，所以我们和高校的合作非常密切。这个项目是由我的母校北京航空航天大学集成电路学院和北航的青岛研究院共同来孵化的，同时，我们和包括山东大学、中国海洋大学在内的多所高校有合作关系。我们会请学校的专家一起研究如何攻克一些世界性的难题，解决行业卡脖子问题。我们建立了这种联合研发团队，团队中既有来自于高校的老师，也有来自于公司的工程师，这样一个团队，既能捕捉科学前沿信息，利用最前沿的技术去解决问题，也能有优秀的工程师把我们的原理创新付诸实践，可以保障我们做出是具有高可靠性，经得起市场检验的仪器。对于国家迫切需要解决的一些卡脖子问题，国家会有项目支持，鼓励企业与高效院所联合申报和攻关。所以，我们与学校会联合申报项目，组件‘联合创新体’，共同寻找解决方案。我们与学校建立了人才联合培养模式，共建社会实习实践基地，学生可以来到我们公司做社会实践。我们跟北航签订了非全日制研究生联合培养协议，公司中的员工可以通过参与学校的非全日制学习培训进行提升。 张学莹博士介绍到。
自2019年公司成立以来，致真精密仪器已经汇聚各类人才50余人，打造了光、电、精密机械、测控及自动化、软件和算法等工种齐全的工程团队，通过建设青岛市集成电路测试设备专家工作站等方式，引进专家级人才若干。公司与北京航空航天大学、北航青岛究院和北航杭州研究院相继成立联合实验室，发挥产学研结合的优势，加速研发。公司在北京和杭州设有子公司。目前，公司面向磁性芯片和集成电路制造领域的需求，已经研发了一系列国内首台套的高端设备，包括中国首台商用磁光克尔显微镜、产业级晶圆磁光克尔测试仪等，产品已经应用于清华大学、中国科学院等国内顶尖科研机构和知名集成电路制造公司。
技术与市场紧密结合
科学至上精益求精
打铁还需自身硬，我们自己得有拿得出手的产品，得能做好科研技术攻关，团队始终要跟高校科研院所做好合作，来吸收最前沿的科学技术，与市场结合起来，用我们的技术能力去打造市场所需的产品。 张学莹讲到。
致真精密仪器主要产品涉及以下几类：
多功能磁光克尔显微成像系统。基于自主创新，将磁光克尔效应（MOKE）与高分辨率成像技术结合，并结合新兴的磁性芯片研发领域的测试需求，将光、电、磁、热多物理场集于一身，能够清晰看见芯片内部磁性变化过程，被比作为磁学和磁性芯片研发人员的眼睛。该设备打破了此前德国在该领域的垄断地位，为磁学和磁性材料研究、自旋电子芯片研发人员提供了高性能的设备支撑。
晶圆级磁光克尔测量仪。利用极向磁光克尔效应，快速全局检测晶圆膜堆的磁性。非接触式测量，避免了传统磁性表征对晶圆的破坏，可应用于图形化前后的样品检测。高达2.5T垂直磁场，可诱导垂直各项异性磁性随机存储器（MRAM）膜堆的自由层、参考层与钉扎层的翻转；超高克尔检出灵敏度，可以单次同时表征不同膜层的细微磁性变化。将激光逐点探测与扫描成像结合，可以快速创建晶圆磁特性全局图谱，辅助工艺优化与良率控制。该设备是磁性芯片生产的必备设备，此前被全球最大集成电路过程测试设备企业KLA-Tencor垄断。致真精密仪器公司实现了该产品的国产替代，技术完全自主可控，为我国磁性芯片产业的自主发展打通了关键一环。
致真精密仪器还可提供自旋电子学测试的全套方案：自主开发的软件，可方便进行二次谐波、ST-FMR、各类磁电阻曲线的方便快捷测量。同时，公司的工程师团队实力非常强大，可以提供非常便捷的支持，让客户能更快的去完成测试，满足客户需求。致真精密仪器的系列产品已经应用于清华大学，中科院等顶尖科研机构。
2022年6月23日崂山新闻报道中指出，北京航空航天大学自旋芯片团队的一篇论文登上了世界顶级物理刊物《物理评论快报》（Physical Review Letters），论文中重要的实验数据来自于致真精密仪器自主研发的多功能磁场探针台，一场高校和企业的科研深度碰撞，推动了一个全新的低功耗储存芯片理论正式诞生。
当时，我们得知北京航空航天大学自旋芯片团队需要完成一个二次谐波霍尔效应测试，他们需要一台磁场探针台，这个测试直接关系研究的成功与否。我们主动与他们接洽并提出可以定制一台科研级探针台，不仅如此，我们还通过软硬件结合的方式，大大缩短了实验的时间。 张学莹博士介绍到。
同年7月8日，国际知名学术期刊《应用物理评论》（Applied Physics Reviews）在线发表了北京航空航天大学集成电路科学与工程学院自旋芯片团队的最新科研成果《Spin Manipulation by Giant Valley-Zeeman Spin-Orbit Field in Atom-Thick WSe2》，论文同时入选了该期刊的Featured Article，该工作首次发现了二维材料WSe2自旋阀器件随WSe2层数和堆垛类型而发生正负振荡的新奇磁阻现象，揭示了基于二维材料谷-塞曼有效场的进动型自旋翻转新机制，为发展新型低功耗自旋电子器件提供了新思路。致真精密仪器(青岛)有限公司研制的国内首款多功能磁光克尔显微成像系统和科研级磁场探针台，为本项研究工作提供了全国产科研仪器及技术支持方案。磁光克尔显微镜让磁学测试眼见为实！
披荆斩棘追求卓越
凝心聚力共图大业
2021年，第七届中国国际互联网+大学生创新创业大赛在江西南昌举行。经过激烈角逐，由时任北京航空航天大学集成电路学院院长的赵巍胜教授任指导教师，公司CTO张学莹博士带头，杜洪磊博士、张博宇博士等多位团队核心成员共同参与完成的致真精密仪器（青岛）有限公司项目致真精密仪器-源自中国的微电子测试设备领航者冲出重围，斩获金奖！
参赛对于我们项目的促进还是很大的。首先，经过大赛的洗礼，我们学到了很多东西，也帮助团队梳理了企业发展思路，我们从校赛到总决赛，是不断突出重围的过程。其次，通过大赛的平台，我们认识了很多专家和投资人，拓宽了视野，丰富了资源。大赛金奖的荣誉，对我们团队来说是一个巨大的鼓励，极大增强了我们的信心。 张学莹博士讲到。
长期以来，我国高端科学仪器和集成电路测试设备严重依赖于进口，对国家科技创新和高端产业自主发展造成了严重限制。有了知识、市场和社会资本的结合，致真精密仪器就能更快的去解决这些卡脖子问题。未来，公司会面向更广阔的集成电路测试设备领域需求开发更多的产品，同时吸纳前沿科技成果并转化为可满足市场需求的产品，为中国科技创新和集成电路产业自主发展做出自己的贡献。
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